Componentes del reactor planetario Aixtron G10 Solid SiC

1. Características y ventajas clave

• Estructura de SiC sólido totalmente densa y sin aglutinantes para una resistencia superior al desgaste y la corrosión

• Excelente conductividad térmica y resistencia al choque térmico a temperaturas superiores a 1500 °C

• Generación de partículas ultrabaja y alta pureza, lo que minimiza el riesgo de contaminación.

• Excelente inercia química frente a los gases de proceso utilizados en la epitaxia de SiC

• Larga vida útil bajo ciclos repetidos de alta temperatura

• Mecanizado con precisión con tolerancias dimensionales estrictas para un ajuste confiable y estabilidad del proceso

 2. Aplicaciones típicas

Estos accesorios de Solid SiC se utilizan en áreas funcionales clave del reactor Aixtron G10, que incluyen:

• Placas de cubierta y elementos de cubierta seleccionados

• Anillos protectores y componentes de alto desgaste

• Pasadores de precisión, arandelas y piezas estructurales pequeñas

• Otros insertos personalizados de alta pureza expuestos a un intenso flujo de gas o carga térmica

Admiten una distribución estable de la temperatura, un suministro uniforme de gas y una baja densidad de defectos durante el crecimiento epitaxial de SiC de alto volumen para MOSFET de potencia, diodos y dispositivos relacionados de banda ancha.

3. ¿Por qué elegir VeTek Solid SiC para Aixtron G10?

Como fabricante especializado de materiales de grado semiconductor, VeTek Semiconductor ofrece:

• Componentes de SiC sólido de alta pureza diseñados para sistemas Aixtron G10, por ejemplo: anillo de cubierta, cubiertas interiores/exteriores, placa de soporte/desplegable, disco satélite, susceptor.

• Estricto control de pureza y mecanizado CNC de precisión.

• Soluciones complementarias que incluyen grafito recubierto de SiC CVD y piezas recubiertas de TaC para una cobertura completa del campo térmico

• Diseños personalizados adaptados a condiciones de proceso y configuraciones de reactor específicas

Nuestros accesorios Solid SiC ayudan a los clientes a maximizar las ventajas de productividad de la plataforma Aixtron G10 (alta producción de obleas, excelente espesor y uniformidad de dopaje y costo de propiedad competitivo), al tiempo que extienden la vida útil de los componentes y reducen la pérdida de rendimiento relacionada con las partículas.