Paleta voladizo de carburo de silicio (sic)

La paleta en voladizo de carburo de silicio (SIC) es un componente clave indispensable en el proceso de procesamiento de la oblea. Es principalmente parte del sistema de transporte de obleas. Emprende la importante tarea de transportar y transportar obleas en equipos como hornos de difusión de oxidación de alta temperatura, asegurando la concentricidad de la oblea y el tubo del horno, y mejorando la consistencia y el rendimiento del procesamiento de la oblea.

La paleta en voladizo de SiC tiene un excelente rendimiento a altas temperaturas: en entornos de alta temperatura de hasta 1600 ℃, la paleta en voladizo de SiC aún puede mantener una alta resistencia y estabilidad, no se deformará, dañará ni causará otros problemas, y puede funcionar de manera estable durante mucho tiempo.

La paleta voladiza de carburo de silicio está hecha de material SiC de alta pureza y no se desprenderán partículas durante el procesamiento de la oblea, lo que evita la contaminación de la superficie de la oblea. El material de carburo de silicio tiene una alta resistencia a la flexión y puede soportar una mayor tensión al transportar más obleas y no es propenso a romperse, lo que garantiza la seguridad y estabilidad del proceso de transmisión de las obleas. La excelente estabilidad química del SiC ayuda a que la paleta voladiza de SiC resista la corrosión de diversos químicos y gases, evita que las impurezas contaminen la oblea debido a la corrosión del material y extiende la vida útil del producto.

Diagrama de trabajo de paleta de Sic Cantilver

Especificaciones del producto

● Varios tamaños: Proporcionamos paletas voladizas de carburo de silicio (SiC) de varios tamaños para satisfacer las necesidades de diferentes tipos de equipos semiconductores y procesamiento de obleas de diferentes tamaños.

●  Servicio personalizado: Además de los productos de especificación estándar, también podemos crear soluciones exclusivas para los clientes de acuerdo con sus requisitos especiales, como tamaño específico, forma, capacidad de carga, etc.

●  Diseño de moldura de una sola pieza: Generalmente se fabrica mediante un proceso de moldeo de una sola pieza, que incluye la sección de conexión, la sección de transición y la sección de soporte. Las piezas están estrechamente conectadas y tienen una gran integridad, lo que mejora eficazmente la resistencia estructural y la estabilidad del producto y reduce el riesgo de falla causada por piezas de conexión débiles.

●  Estructura reforzada: Algunos productos están equipados con estructuras de refuerzo en partes clave como la sección de transición, como la placa inferior, la placa de presión, la biela, etc., lo que mejora aún más la resistencia de la conexión entre la sección de transición y la sección de conexión y la sección de soporte. , mejora la confiabilidad de la paleta voladiza de SiC de alta pureza al transportar la oblea y previene problemas como fracturas en el área de transición.

●  Diseño de área de rodamiento especial: El diseño del área de rodamiento considera completamente la ubicación y la transferencia de calor de la oblea. Algunos productos están equipados con ranuras en forma de U, agujeros de tiras largas, agujeros rectangulares y otras estructuras en el área de rodamiento, lo que no solo reduce el peso del área de rodamiento en sí, sino que también reduce el área de contacto con la oblea para evitar bloquear el calor. Al mismo tiempo, también puede garantizar la estabilidad de la oblea durante la transmisión y evitar que la oblea caiga.

Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado:

Durante el proceso de producción, cada paleta voladiza de carburo de silicio (SiC) debe someterse a estrictas inspecciones de calidad, incluida la inspección de precisión dimensional, inspección de apariencia, pruebas de propiedades físicas, pruebas de estabilidad química, etc., para garantizar que el producto cumpla con altos estándares de calidad y pueda cumplir. los estrictos requisitos del procesamiento de obleas semiconductoras.

Semiconductores VeTekofrece una gama completa de servicios posventa. Si los clientes encuentran algún problema durante el uso, el equipo profesional de posventa responderá de manera oportuna y brindará a los clientes soluciones rápidas y efectivas para garantizar que la producción de los clientes no se vea afectada.

Semiconductores VeTekTiendas de producción de paletas SIC en voladizo de alta pureza: