Revestimiento de cerámica de carburo de silicio

Es semiconductor Revestimiento de cerámica de carburo de silicioes un recubrimiento protector de alto rendimiento hecho de material de carburo de silicio (SIC) extremadamente duro y resistente al desgaste, que proporciona una excelente resistencia a la corrosión química y una estabilidad de alta temperatura. Estas propiedades son cruciales en la producción de semiconductores, por lo que el recubrimiento de cerámica de carburo de silicio se usa ampliamente en componentes clave de los equipos de fabricación de semiconductores.

El papel específico desempeñado por el revestimiento de cerámica de carburo de silicio de vetek semiconductores en la producción de semiconductores escomo sigue:

Mejorar la durabilidad del equipo: El recubrimiento de cerámica de carburo de silicio proporciona una excelente protección de la superficie para los equipos de fabricación de semiconductores con su resistencia y resistencia al desgaste extremadamente alta. Especialmente en entornos de proceso altamente corrosivos y de alta temperatura, como la deposición química de vapor (ECV) y el grabado en plasma, el recubrimiento de cerámica de carburo de silicio puede evitar efectivamente el daño a la superficie del equipo debido a la erosión química o el desgaste físico, extendiendo significativamente la vida útil del equipo y la reducción del tiempo de inactividad causado por el reemplazo frecuente y el mantenimiento.

Mejorar la pureza del proceso: En el proceso de fabricación de semiconductores, cualquier pequeña contaminación puede causar defectos del producto. La inercia química del recubrimiento de cerámica de carburo de silicio le permite permanecer estable en condiciones extremas, evitar que el material libere partículas o impurezas, y garantice la pureza del medio ambiente durante el proceso. Esto es especialmente importante para los pasos de fabricación que requieren alta precisión y alta limpieza, como PECVD e implantación de iones.

Optimizar la gestión térmica: En el procesamiento de semiconductores de alta temperatura, como el procesamiento térmico rápido (RTP) y los procesos de oxidación, la alta conductividad térmica del recubrimiento de cerámica de carburo de silicio permite una distribución de temperatura uniforme dentro del equipo. Esto ayuda a reducir el estrés térmico y la deformación del material causada por las fluctuaciones de temperatura, mejorando así la precisión y consistencia de fabricación de productos.

Soporte de entorno de proceso complejo: En los procesos que requieren un control de atmósfera compleja, como el grabado de ICP y los procesos de grabado de PSS, la estabilidad y la resistencia a la oxidación del calentador de recubrimiento de cerámica de carburo de silicio aseguran el rendimiento estable del equipo en la operación a largo plazo, reduciendo el riesgo de degradación del material o daños en el equipo debido a los cambios ambientales.

Es semiconductorse centra en la fabricación y el suministro de alto rendimientoRevestimiento de cerámica de carburo de silicio, y se compromete a proporcionar tecnología avanzada y soluciones de productos para la industria de semiconductores.Esperamos sinceramente ser su socio a largo plazo en China.

Propiedades físicas básicas deRevestimiento de cerámica de carburo de silicio:

Es semiconductor Silicon Carbide Ceramic Shops:

Descripción general de la cadena industrial de epitaxia de chip de semiconductores: