calentador de recubrimiento de cerámica de carburo de silicio

Es semiconductorEl calentador de recubrimiento de cerámica de carburo de silicio es un calentador diseñado para ambientes a alta temperatura y duros. Sube una capa de recubrimiento de cerámica de carbono de silicio (SIC) en la superficie del elemento de calentamiento para dar al equipo una excelente resistencia al calor, resistencia a la corrosión y conductividad térmica. 

Calentador de recubrimiento de cerámica de carburo de siliciose utiliza principalmente en equipos de recubrimiento de vacío (evaporación). Los métodos de uso común son PCD (secado químico en plasma) y PVD (deposición física de vapor), que se usan ampliamente en la fabricación de semiconductores y otras aplicaciones industriales de alta demanda.

Combinado con el diseño de recubrimiento de alto rendimiento del calentador de recubrimiento de cerámica de carburo de silicio,Puede proporcionar una excelente solución de calentamiento para procesos de alta temperatura.

Excelente conductividad térmica: El material SIC tiene una excelente conductividad térmica, asegurando que el calentador pueda lograr una distribución de calor uniforme en el área de trabajo y reducir los gradientes de temperatura.

Proporcionar una distribución de calor uniforme: El calentador de recubrimiento de cerámica de carburo de silicio utiliza la alta conductividad térmica del material SIC para lograr una distribución de temperatura uniforme en todo el área de calefacción. Esto es fundamental para garantizar un tratamiento térmico uniforme de las obleas semiconductoras en varios procesos de alta temperatura, como el procesamiento térmico rápido (RTP), la difusión y la oxidación, evitando los defectos del producto causados ​​por sobrecalentamiento local o temperatura desigual.

Tolerancia a alta temperatura: El recubrimiento SIC permite al calentador resistir temperaturas extremadamente altas, típicamente hasta 1600 ° C, adecuadas para varios procesos de procesamiento de alta temperatura.

Mejorar la resistencia al calor: Debido a que el recubrimiento puede soportar temperaturas extremadamente altas, funciona bien en procesos que requieren una operación de alta temperatura a largo plazo. Por ejemplo, en los procesos de deposición de vapor químico (CVD), el calentador de recubrimiento de cerámica de carburo de silicio puede garantizar el funcionamiento estable a largo plazo del equipo a altas temperaturas y mantener un rendimiento de calentamiento constante, mejorando así la repetibilidad y confiabilidad del proceso.

Resistencia a la corrosión química: El recubrimiento SIC tiene una resistencia extremadamente alta al ácido, álcali y gases corrosivos, y puede permanecer estable durante mucho tiempo en un entorno de atmósfera química compleja, extendiendo la vida útil del equipo. 

Extendiendo la vida útil del equipo: El recubrimiento SIC tiene una excelente resistencia a la oxidación y resistencia a la corrosión, y puede resistir efectivamente la erosión y la oxidación química a altas temperaturas. Esto es muy crítico en el proceso de fabricación de semiconductores, especialmente en un entorno que maneja gases y productos químicos corrosivos. El efecto protector del recubrimiento puede extender significativamente la vida útil del calentador y reducir la frecuencia de los costos de reemplazo y mantenimiento del equipo.

Propiedades físicas básicas del calentador de recubrimiento de cerámica de carburo de silicio:

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Cerámica Casante de calentadores de calentadores:

Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chip de semiconductores Vetek: