Protector de recubrimiento SIC CVD

Posicionamiento del producto y funciones centrales:

El protector de recubrimiento CVD SIC es un componente clave en el equipo epitaxial de carburo de silicio LPE, utilizado principalmente para proteger la estructura interna de la cámara de reacción y mejorar la estabilidad del proceso. Sus funciones principales incluyen:

Protección contra la corrosión: el recubrimiento de carburo de silicio formado por el proceso de depósito de vapor químico (CVD) puede resistir la corrosión química de la plasma de cloro/flúor y es adecuado para ambientes hostiles como equipos de grabado;

Manejo térmico: la alta conductividad térmica del material de carburo de silicio puede optimizar la uniformidad de temperatura en la cámara de reacción y mejorar la calidad de la capa epitaxial;

Reducción de la contaminación: como componente de revestimiento, puede evitar que los subproductos de reacción se pongan en contacto directamente con la cámara y extiendan el ciclo de mantenimiento del equipo.

Características técnicas y diseño:

Diseño estructural:

Generalmente dividido en partes de media luna superior e inferior, instaladas simétricamente alrededor de la bandeja para formar una estructura protectora en forma de anillo;

Cooperando con componentes como bandejas y cabezales de ducha de gas para optimizar la distribución del flujo de aire y los efectos de enfoque de plasma.

Proceso de recubrimiento:

El método CVD se utiliza para depositar recubrimientos SIC de alta pureza, con una uniformidad de espesor de película dentro de ± 5% y una rugosidad de la superficie tan baja como RA≤0.5 μm;

El grosor de recubrimiento típico es de 100-300 μm, y puede soportar un entorno de alta temperatura de 1600 ℃.

Escenarios de aplicación y ventajas de rendimiento:

Equipo aplicable:

Se utiliza principalmente para el horno epitaxial de carburo de silicio de 8 pulgadas de 8 pulgadas de LPE, que soporta el crecimiento de homoepitaxial SIC;

Adecuado para equipos de grabado, equipos MOCVD y otros escenarios que requieren alta resistencia a la corrosión.

Indicadores clave:

Coeficiente de expansión térmica: 4.5 × 10⁻⁶/K (coincidir con sustrato de grafito para reducir el estrés térmico);

Resistividad: 0.1-10Ω · cm (cumplir con los requisitos de conductividad);

Vida útil: 3-5 veces más larga que los materiales tradicionales de cuarzo/silicio.

Barreras técnicas y desafíos

Este producto necesita superar las dificultades del proceso, como el control de la uniformidad de recubrimiento (como la compensación de espesor de borde) y la optimización de enlace de la interfaz de recubrimiento de sustrato (≥30mPa), y al mismo tiempo debe coincidir con la rotación de alta velocidad (1000 rpm) y los requisitos de gradiente de temperatura del equipo LPE.