Grafito poroso recubierto de carburo de tantalio (TaC) para el crecimiento de cristales de SiC

El grafito poroso recubierto de carburo de tantalio VeTek Semiconductor está diseñado para optimizar el entorno de crecimiento de cristales de SiC a través de cuatro funciones técnicas principales:

● Filtración de componentes de vapor: La estructura porosa precisa actúa como un filtro de alta pureza, lo que garantiza que solo las fases de vapor deseadas contribuyan a la formación de cristales, mejorando así la pureza general.

● Control de temperatura de precisión: El recubrimiento de TaC mejora la estabilidad térmica y la conductividad, lo que permite ajustes más precisos de los gradientes de temperatura locales y un mejor control de las tasas de crecimiento.

● Dirección de flujo guiada: El diseño estructural facilita un flujo guiado de sustancias, lo que garantiza que los materiales se entreguen exactamente donde se necesitan para promover un crecimiento uniforme.

● Control efectivo de fugas: Nuestro producto proporciona excelentes propiedades de sellado para mantener la integridad y estabilidad de la atmósfera de crecimiento.

Propiedades físicas del recubrimiento TaC.

Comparación con el grafito tradicional

Recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) en una sección transversal microscópica

Impacto de la aplicación: Minimización de defectos en el proceso PVT

En el proceso PVT (transporte físico de vapor), reemplazar el grafito convencional con grafito poroso recubierto de TaC de VeTek aborda directamente los defectos comunes que se muestran en el diagrama:

● EEliminación de inclusiones de carbono.: Al actuar como barrera a las partículas sólidas, elimina eficazmente las inclusiones de carbón y reduce los microtubos comunes en los crisoles tradicionales.

● Preservar la integridad estructural: Previene la formación de puntos de grabado y microtúbulos durante el crecimiento de monocristales de SiC de ciclo largo.

● Mayor rendimiento y calidad: En comparación con los materiales tradicionales, los componentes recubiertos con TaC garantizan un entorno de crecimiento más limpio, lo que da como resultado una calidad del cristal y un rendimiento de producción significativamente mayores.