Bote de obleas de cerámica de carburo de silicio

Las ventajas de utilizar la oblea de cerámica de carburo de silicio Veteksemi

● Resistencia de temperatura muy alta a 3000 F (1650 ℃）

● Resistencia a la súper corrosión a ácidos, solventes, sales y orgánicos, resistente al desgaste  

●  Fácil de limpiar

●  Fuerte resistencia al impacto

●  Sin resbalones

La industria de fabricación de semiconductores VeTek normalmente procesa estas obleas en soportes de oblea horizontales o verticales.

● El portador horizontal, típicamente llamado "bote", tiene tres o cuatro barras dispuestas horizontalmente dispuestas en un diseño de semicírculo, teniendo cada barra ranuras orientadas hacia adentro colocadas en ellas a intervalos regulares. Cada conjunto de ranuras define un espacio vertical para transportar una oblea dispuesta verticalmente.

●  El transportador vertical, típicamente llamado "estante vertical", tiene tres o cuatro varillas (o postes) dispuestas verticalmente dispuestas en un diseño de semicírculo, teniendo cada poste ranuras dispuestas en intervalos regulares para definir un espacio para soportar una oblea dispuesta horizontalmente.

Para asegurar la precisión geométrica requerida en este campo, las tres o cuatro varillas se fijan a una placa superior y a una placa inferior. Las partes del poste entre cada ranura, denominadas "dientes", están espaciadas de manera idéntica para soportar obleas a intervalos regulares desde y paralelas a la placa inferior. Luego, toda la rejilla se coloca dentro de un horno vertical para procesar las obleas.

Debido a que una oblea procesada en un bastidor vertical experimenta un menor gradiente de temperatura en su cara (en comparación con una oblea procesada en un bote horizontal), los fabricantes de semiconductores recurren cada vez más a hornos verticales. Sin embargo, el horno vertical tiene un inconveniente. Las obleas dispuestas sobre una rejilla vertical convencional se apoyan únicamente en su borde exterior. Como tal, las áreas de la oblea que descansan sobre estos dientes experimentan una tensión mayor que el resto de la oblea.

Cuando las temperaturas en el horno exceden aproximadamente 1000°C, estas tensiones a menudo se vuelven significativas y porciones de la oblea monocristalina se mueven entre sí a lo largo de placas cristalográficas en respuesta a esa tensión. Este fenómeno, llamado "deslizamiento", destruye efectivamente el valor de los dispositivos semiconductores ubicados en el área de la oblea donde se ha producido el deslizamiento.

Como proveedor y fabricante líder de Wafer Boat de cerámica de carburo de silicio en China, VeTek Semiconductor siempre se ha comprometido a proporcionar tecnología avanzada y soluciones de productos Wafer Boat para la industria de procesamiento de semiconductores. Esperamos sinceramente convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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