Proceso de epitaxia de SiC

El susceptor epitaxial planetario de SiC con revestimiento CVD TaC es uno de los componentes centrales del reactor planetario MOCVD. A través del susceptor epitaxial planetario de SiC con recubrimiento CVD TaC, el disco grande orbita y el disco pequeño gira, y el modelo de flujo horizontal se extiende a máquinas de múltiples chips, de modo que tiene tanto la gestión de uniformidad de longitud de onda epitaxial de alta calidad como la optimización de defectos de un solo Máquinas de chips y las ventajas de costos de producción de las máquinas de chips múltiples. VeTek Semiconductor puede proporcionar a los clientes un susceptor epitaxial planetario de SiC con recubrimiento CVD TaC altamente personalizado. Si también quieres fabricar un horno MOCVD planetario como Aixtron, ¡ven a nosotros!

Vetek Semiconductor es una empresa china que es un fabricante de clase mundial y proveedor de susceptor de epitaxia GaN. Hemos estado trabajando en la industria de semiconductores, como recubrimientos de carburo de silicio y susceptor de epitaxia GaN durante mucho tiempo. Podemos proporcionarle excelentes productos y precios favorables. Vetek Semiconductor espera convertirse en su socio a largo plazo.

El susceptor de oblea recubierto con TaC de VeTek Semiconductor es una bandeja de grafito recubierta con carburo de tantalio para el crecimiento epitaxial de carburo de silicio para mejorar la calidad y el rendimiento de la oblea. Se selecciona VeTek por su avanzada tecnología de recubrimiento y soluciones duraderas para garantizar excelentes resultados de epitaxia de SiC y una mayor vida útil del susceptor. Agradecemos sus consultas adicionales.

Como fabricante líder de productos de anillos de guía de recubrimiento TAC en China, los anillos de guía recubiertos de TAC de semiconductores Vetek son componentes importantes en los equipos de MOCVD, asegurando la entrega precisa y estable de gas durante el crecimiento epitaxial, y son un material indispensable en el crecimiento epitaxial semiconductor. Bienvenido para consultarnos.

Vetek Semiconductor es un fabricante profesional y líder de productos poros de carburo tantalum en China. El carburo de tántalo poroso generalmente se fabrica mediante el método de deposición de vapor químico (CVD), asegurando un control preciso del tamaño y distribución de su poro, y es una herramienta de material dedicada a entornos extremos de alta temperatura. Dé la bienvenida a su consulta adicional.

El anillo de la guía de recubrimiento TAC del semiconductor de Vetek se crea aplicando el recubrimiento de carburo Tantalum en piezas de grafito utilizando una técnica altamente avanzada llamada deposición de vapor químico (CVD). Este método está bien establecido y ofrece propiedades de recubrimiento excepcionales. Al utilizar el anillo de la guía de recubrimiento TAC, la vida útil de los componentes de grafito se puede extender significativamente, el movimiento de las impurezas de grafito se puede suprimir y la calidad de cristal único SIC y AIN se puede mantener de manera confiable. Bienvenido a Invirys.