Barcos de cuartzo

Los barcos de obleas de cuarzo son herramientas de precisión indispensables en el proceso de fabricación de semiconductores. Desempeña un papel vital en el proceso de difusión de alta temperatura y se usa ampliamente en LED, células solares, dispositivos semiconductores tradicionales, diodos y otros campos. En estas aplicaciones, la función principal del barco de obleas es llevar de manera estable y colocar con precisión obleas de semiconductores para garantizar que las obleas se calienten uniformemente en el horno de difusión de alta temperatura, logiendo así los pasos de proceso clave como el dopaje o la oxidación. Sus excelentes propiedades físicas hacen que el barco de la oblea de cuarzo sea la piedra angular de los dispositivos semiconductores de alto rendimiento.

Ventajas de material clave

Construidos a partir de cuarzo fusionado de alta pureza, los barcos de obleas de cuarzo ofrecen una combinación de características térmicas, químicas y eléctricas superiores que son críticas para exigentes aplicaciones de semiconductores:

● Bajo coeficiente de expansión térmica

El material de cuarzo tiene un coeficiente de expansión térmica extremadamente bajo, lo que significa que el tamaño y la forma del barco de obleas pueden permanecer altamente estables bajo cambios de temperatura extrema. Esto es crucial para evitar que la oblea se deforme o agrieta debido al estrés térmico en los procesos de alta temperatura, asegurando la precisión y consistencia de cada proceso de difusión.

● Estabilidad de alta temperatura

El cuarzo puede mantener su integridad estructural y estabilidad química a temperaturas extremadamente altas y no es fácil de suavizar o deformarse. Esto permite que los barcos de obleas de cuarzo resistan el entorno duro de miles de grados centígrados en el proceso de difusión de semiconductores, asegurando la continuidad y la confiabilidad del proceso.

● Excelente aislamiento

El cuarzo es un excelente aislante eléctrico. En los procesos de semiconductores, la propiedad de aislamiento puede prevenir efectivamente la acumulación de carga innecesaria o la descarga de arco, protegiendo así los dispositivos semiconductores sensibles del daño y garantizar la seguridad del proceso.

● Excelente estabilidad química y transparencia

El cuarzo tiene una excelente inercia química y no es fácil de reaccionar con gases químicos en el horno de difusión o sustancias en la superficie de la oblea, evitando así la contaminación de la impureza y garantizando la pureza del producto. Además, su transparencia óptica también tiene ventajas potenciales en ciertos procesos de monitoreo o detección óptica específicos.

Aplicaciones:

● Fabricación de chips LED

● Difusión y dopaje de células solares

● Fabricación de semiconductores IC

● Procesamiento de batería y diodos

● Hornos de oxidación térmica y LPCVD

¿Por qué elegir nuestro barco de obleas de cuarzo?

● Hecho a partir de cuarzo sintético de alta pureza

● Tamaños personalizables para obleas de 2 pulgadas a 12 pulgadas

● Excelente precisión dimensional y acabado de superficie lisa

● Compatible con todos los principales sistemas de hornos de difusión

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