Fieltro rígido de alta pureza

El crecimiento epitaxial de SiC es una tecnología para hacer crecer películas delgadas de carburo de silicio de alta calidad en la superficie de un sustrato. Este proceso es esencial para fabricar dispositivos semiconductores de carburo de silicio de alto rendimiento, como dispositivos de potencia de carburo de silicio y dispositivos de RF de carburo de silicio. En este proceso, el entorno de crecimiento, incluida la temperatura, el flujo de gas, la presión y otros parámetros, debe controlarse estrictamente para garantizar el crecimiento de capas epitaxiales de carburo de silicio de alta calidad y pureza con buenas propiedades eléctricas. Las piezas de grafito SiC Coatig Halfmoon son el componente central del crecimiento epitaxial de SIC, y el fieltro rígido de alta pureza desempeña principalmente el papel de preservación del calor de las piezas de grafito SiC Coatig Halfmoon.

El fieltro rígido de alta pureza tiene una buena conductividad térmica, lo que puede distribuir uniformemente el calor de la fuente de calefacción alrededor de las partes de grafito de media luna Sic Coatig y tiene un buen efecto de preservación de calor. Durante el crecimiento epitaxial de SIC, puede absorber el calor y liberarlo lentamente para evitar el sobrecalentamiento local o el sobreenfriamiento, de modo que la diferencia de temperatura en la superficie del sustrato de carburo de silicio se controla dentro de un rango muy pequeño, y la uniformidad de temperatura generalmente puede alcanzar ± 1 - 2 ℃, que es muy importante para cultivar una capa epitaxial de carburo de silicio con espesor uniforme y propiedades eléctricas consistentes.

Algunos gases corrosivos, como el silano (SiH4) y el propano (C3H8), se utilizan como gases fuente de reacción en el crecimiento epitaxial de SiC. El fieltro rígido de alta pureza tiene buena tolerancia a estos gases químicos y puede mantener su integridad estructural durante todo el ciclo de crecimiento epitaxial (que puede durar horas o incluso decenas de horas). Y la pureza del fieltro rígido de alta pureza es superior al 99,99% y no libera sustancias que puedan contaminar la capa epitaxial en el entorno de reacción, lo que garantiza la alta pureza de la capa epitaxial de carburo de silicio.

La densidad adecuada puede garantizar la resistencia mecánica y la conductividad térmica del fieltro rígido de alta pureza. Al tiempo que garantiza la conductividad térmica, puede minimizar la interferencia de factores externos en el crecimiento epitaxial de SiC.

En comparación con los materiales cerámicos tradicionales y los materiales metálicos, el fieltro rígido de grafito de alta pureza tiene una mejor conductividad térmica y estabilidad química, y es un excelente material componente auxiliar para el crecimiento epitaxial de SIC.

Como proveedor y fábrica líder de fieltro rígido de alta pureza en China, VeTek Semiconductor ofrece productos altamente personalizados, ya sean materiales o tamaño del producto, se pueden adaptar a sus necesidades. Además, VeTek Semiconductor se ha comprometido durante mucho tiempo a proporcionar tecnología avanzada de fieltro rígido de alta pureza. y soluciones de productos para la industria de semiconductores. Esperamos sinceramente convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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