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CVD SIC recubrimiento rígido fieltro
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CVD SIC recubrimiento rígido fieltro

Como una parte importante de las partes de grafito de media luna de recubrimiento SIC, CVD SIC Coating Rigid Feel juega un papel importante en la preservación del calor durante el proceso de crecimiento epitaxial SIC. Vetek Semiconductor es un fabricante y proveedor de fieltro rígido CVD SIC maduro, que puede proporcionar a los clientes productos de fieltro rígido adecuados y excelentes de recubrimiento SIC. Vetek Semiconductor espera convertirse en su socio a largo plazo en la industria epitaxial.

CVD SIC Coating Rigid Fentis es un componente obtenido por el recubrimiento CVD SIC en la superficie del fieltro rígido de grafito, que actúa como una capa de aislamiento de calor.Recubrimiento sic cvdTiene excelentes propiedades, como alta resistencia a la temperatura, excelentes propiedades mecánicas, estabilidad química, buena conductividad térmica, aislamiento eléctrico y excelente resistencia a la oxidación. Por lo tanto, el recubrimiento CVD SIC, el fieltro rígido tiene buena resistencia y alta resistencia a la temperatura, y generalmente se usa para el aislamiento del calor y el soporte de las cámaras de reacción epitaxial.


Propiedades de fieltro rígido de grafito de alta pureza:


  ● Alta resistencia a la temperatura: CVD Sic Coating Rigid Fenth puede soportar temperaturas de hasta 1000 ℃ o más, dependiendo del tipo de material.

  ●  Estabilidad química: CVD Sic Coating Rigid Fenth puede permanecer estable en el entorno químico del crecimiento epitaxial y resistir la erosión de los gases corrosivos.

  ●  Rendimiento de aislamiento térmico: CVD SIC recubrimiento rígido tiene un buen efecto de aislamiento térmico y puede evitar efectivamente que el calor se disipe de la cámara de reacción.

  ●  Resistencia mecánica: Sic Coating Hard Fenth tiene una buena resistencia y rigidez mecánica, para que aún pueda mantener su forma y apoyar a otros componentes a altas temperaturas.


Fieltro de grafito rígidoFunción:


  ●  Aislamiento térmico: CVD SIC recubrimiento rígido de fieltro proporciona aislamiento térmico paraSic epitaxialLas cámaras de reacción mantienen el entorno de alta temperatura en la cámara y asegura la estabilidad del crecimiento epitaxial.

  ●  Soporte estructural: CVD SIC Coating Rigid Fentil proporciona soporte parapartes de media lunay otros componentes para evitar una posible deformación o daño a alta temperatura y alta presión.

  ●  Control de flujo de gas: Ayuda a controlar el flujo y la distribución del gas en la cámara de reacción, asegurando la uniformidad del gas en diferentes áreas, mejorando así la calidad de la capa epitaxial.


Vetek Semiconductor puede proporcionarle un fieltro rígido de recubrimiento SIC personalizado de acuerdo con sus necesidades. Vetek Semiconductor está esperando su consulta.


el Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD:


Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD
Propiedad
Valor típico
Estructura cristalina
Policristalina de fase β FCC, principalmente (111) orientada
Densidad
3.21 g/cm³
Dureza
2500 Vickers Dureza (500 g de carga)
Grano tue
2 ~ 10 mm
Pureza química
Pureza química99.99995%
Capacidad de calor
640 j · kg-1· K-1
Temperatura de sublimación
2700 ℃
Resistencia a la flexión
415 MPA RT 4 puntos
Módulo de Young
430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Conductividad térmica
300W · m-1· K-1
Expansión térmica (CTE)
4.5 × 10-6K-1

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