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Recubrimiento de carburo de silicio

VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultra puro, estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.


Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.


En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.


Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.


Piezas del reactor que podemos hacer:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parámetro de recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad Valor típico
Estructura cristalina FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad del recubrimiento de SiC 3,21 g/cm³
Recubrimiento de SiCDureza Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño del grano 2~10μm
Pureza química 99,99995%
Capacidad calorífica 640 J·kg-1·k-1
Temperatura de sublimación 2700 ℃
Resistencia a la flexión 415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica 300W·m-1·k-1
Expansión Térmica (CTE) 4,5×10-6K-1

ESTRUCTURA CRISTALINA DE PELÍCULA CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



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Boquilla de recubrimiento CVD SiC

Boquilla de recubrimiento CVD SiC

Las boquillas de recubrimiento CVD SiC son componentes cruciales que se utilizan en el proceso de epitaxia LPE SiC para depositar materiales de carburo de silicio durante la fabricación de semiconductores. Estas boquillas suelen estar hechas de material de carburo de silicio químicamente estable y de alta temperatura para garantizar la estabilidad en entornos de procesamiento hostiles. Diseñados para una deposición uniforme, desempeñan un papel clave en el control de la calidad y uniformidad de las capas epitaxiales cultivadas en aplicaciones de semiconductores. Bienvenido a su consulta adicional.
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Protector de recubrimiento SIC CVD

Protector de recubrimiento SIC CVD

El protector de recubrimiento CVD SIC de Vetek Semiconductor utilizado es LPE SIC Epitaxy, el término "LPE" generalmente se refiere a la epitaxia de epitaxia de baja presión (LPE) en deposición de vapor químico de baja presión (LPCVD). En la fabricación de semiconductores, LPE es una tecnología de proceso importante para cultivar películas de un solo cristal, a menudo utilizado para cultivar capas epitaxiales de silicio u otras capas epitaxiales de semiconductores. No dude en contactarnos para obtener más preguntas.
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Pedestal recubierto de SiC

Pedestal recubierto de SiC

Vetek Semiconductor es profesional en la fabricación de recubrimiento CVD SIC, recubrimiento TAC sobre grafito y material de carburo de silicio. Proporcionamos productos OEM y ODM como pedestal recubierto de SIC, portador de obleas, fuck de obleas, bandeja de transportista de obleas, disco planetario, etc. Con sala limpia de 1000 grado y dispositivo de purificación, podemos proporcionarle productos con impurezas por debajo de 5 pp. de ti pronto.
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Anillo de entrada con revestimiento de SiC

Anillo de entrada con revestimiento de SiC

Vetek Semiconductor se destaca por colaborar estrechamente con los clientes para crear diseños personalizados para el anillo de entrada de revestimiento de SiC adaptados a necesidades específicas. Estos anillos de entrada con revestimiento de SiC están meticulosamente diseñados para diversas aplicaciones, como equipos CVD de SiC y epitaxia de carburo de silicio. Para soluciones personalizadas de anillos de entrada de revestimiento de SiC, no dude en comunicarse con Vetek Semiconductor para obtener asistencia personalizada.
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Anillo de soporte recubierto de sic

Anillo de soporte recubierto de sic

VeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional en China, que produce principalmente anillos de soporte recubiertos de SiC, recubrimientos de carburo de silicio (SiC) CVD y recubrimientos de carburo de tantalio (TaC). Estamos comprometidos a brindar soporte técnico perfecto y soluciones de productos definitivas para la industria de semiconductores. Bienvenido a contactarnos.
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Mandril de oblea

Mandril de oblea

El trozo de oblea es una herramienta de sujeción de oblea en procesos de semiconductores y se usa ampliamente en PVD, CVD, ETCH y otros procesos. El mandril de oblea de Vetek Semiconductor desempeña un papel fundamental en la producción de semiconductores, lo que permite una producción rápida y de alta calidad. Con fabricación interna, precios competitivos y un sólido soporte de I+D, Vetek Semiconductor se destaca en servicios OEM/ODM para componentes de precisión. Esperamos su consulta.
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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Ya sea que necesite servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desee comprar Recubrimiento de carburo de silicio avanzado y duradero realizados en China, puede dejarnos un mensaje.
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