Guía de selección

La selección del recubrimiento CVD SiC, TaC o SiC sólido correcto determina directamente los niveles de partículas y la vida útil de los componentes en las líneas de epitaxia/grabado. Este artículo proporciona límites de selección claros por temperatura, atmósfera y proceso, combinados con importantes soluciones de reemplazo de equipos y métricas clave, para ayudarlo a tomar decisiones rápidas y reducir el riesgo.