Portabrocas electrostático de cerámica de nitruro de aluminio (AlN)

1.Ventajas

• Cerámica AlN de alta pureza con conductividad térmica de hasta ~180 W/m·K para una transferencia de calor eficiente y uniformidad de temperatura.

• Fuerte aislamiento eléctrico y resistividad de alto volumen que soportan una sujeción estable de 1 a 3 kV (voltajes más altos disponibles)

• Materiales de capa dieléctrica personalizados y diseños de electrodos: Coulomb o Johnsen-Rahbek (JR); monozona o multizona

• Rendimiento rápido de sujeción y liberación, normalmente en menos de 0,1 segundos

• Microestructuras de hoyuelos en la superficie de hasta ~300 μm de diámetro, lo que reduce el área de contacto hasta ~1%

• Alta capacidad de planitud; Planitud global típica del orden de 0,5 a 3 μm PV para plataformas de clase de 300 mm

• Microestructura densa con absorción de agua casi nula y buena resistencia química para entornos de proceso

2.Aplicaciones típicas

Los mandriles electrostáticos cerámicos de nitruro de aluminio se utilizan en pasos del proceso que requieren tanto una sujeción segura de la oblea como un comportamiento térmico controlado:

• Grabado con plasma seco (ICP/RIE) y procesos de cámara relacionados

• CVD, PEALD, ALD térmico y otras etapas de deposición de película delgada

• Módulos de proceso térmico y de recocido que requieren una temperatura de oblea uniforme

• Etapas de inspección, metrología y precisión donde la baja cantidad de partículas y la sujeción estable son fundamentales

3.Grados de materiales AlN: propiedades típicas

VeTek ofrece múltiples grados de nitruro de aluminio para equilibrar la conductividad térmica, la resistencia mecánica y el costo de los diseños de ESC:

Unidades: Conductividad térmica en W/(m·K); rigidez dieléctrica en kV/mm; resistividad del volumen en Ω·cm (25 °C); Constante dieléctrica a 1 MHz. Los valores son típicos y pueden variar según el proceso y la geometría de la pieza.

4.Parámetros típicos de diseño de ESC

5.¿Por qué elegir?¿Se utilizan mandriles electrostáticos VeTek AlN?

VeTek Semiconductor integra cerámica AlN avanzada con fabricación ESC de precisión para clientes de semiconductores que necesitan rendimiento térmico y sujeción confiable:

• Múltiples grados de AlN con conductividad térmica de ~90 a ~180 W/m·K para igualar los presupuestos térmicos del proceso

• Diseño flexible de electrodo y dieléctrico para comportamiento de sujeción de Coulomb o JR

• Control estricto de la planitud, la microestructura de la superficie y el rendimiento del aislamiento eléctrico.

• Soporte de ciclo de vida completo: diseño, nueva construcción y renovación de varios niveles

Para herramientas térmicas, de deposición y de grabado que dependen de una temperatura uniforme de la oblea y una sujeción limpia y repetible, los mandriles electrostáticos cerámicos de nitruro de aluminio VeTek proporcionan una plataforma cerámica de alto rendimiento respaldada por soporte de ingeniería centrado en la aplicación.