Placa de cerámica sic porosa

La placa de cerámica sic porosa es una estructura porosa material cerámico hecho decarburo de siliciocomo el componente principal y combinado con un proceso de sinterización especial. Su porosidad es ajustable (generalmente 30%-70%), la distribución del tamaño de poro es uniforme, tiene una excelente resistencia a la temperatura, estabilidad química y excelente permeabilidad al gas, y se usa ampliamente en la fabricación de semiconductores, deposición de vapor químico (ECV), filtración de gas de alta temperatura y otros campos.

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Disco de cerámica sic porosoExcelentes propiedades físicas

● Resistencia extrema de alta temperatura:

El punto de fusión de la cerámica SIC es tan alto como 2700 ° C, y aún puede mantener una estabilidad estructural por encima de 1600 ° C, con mucho que la cerámica de alúmina tradicional (aproximadamente 2000 ° C), especialmente adecuada para procesos de alta temperatura semiconductores.

● Excelente rendimiento de gestión térmica:

✔ Alta conductividad térmica: la conductividad térmica de la SIC densa es de aproximadamente 120 w/(m · k). Aunque la estructura porosa reduce ligeramente la conductividad térmica, sigue siendo significativamente mejor que la mayoría de la cerámica y apoya la disipación de calor eficiente.

✔ Coeficiente de expansión térmica baja (4.0 × 10⁻⁶/° C): casi no hay deformación a alta temperatura, evitando la falla del dispositivo causada por el estrés térmico.

● Excelente estabilidad química

Resistencia a la corrosión ácida y álcali (especialmente sobresaliente en el entorno de HF), resistencia a la oxidación de alta temperatura, adecuada para entornos duros como el grabado y la limpieza.

● Propiedades mecánicas sobresalientes

✔ Alta dureza (dureza de Mohs 9.2, segundo solo por diamante), fuerte resistencia al desgaste.

✔ La resistencia a la flexión puede alcanzar 300-400 MPa, y el diseño de la estructura de los poros tiene en cuenta la resistencia ligera y mecánica.

● Estructura porosa funcionalizada

✔ Área de superficie específica alta: mejorar la eficiencia de difusión de gas, adecuada como una placa de distribución de gas de reacción.

✔ Porosidad controlable: optimice la penetración de fluidos y el rendimiento de la filtración, como la formación de películas uniformes en el proceso de ECV.

Papel específico en la fabricación de semiconductores

● Soporte de procesos de alta temperatura y aislamiento de calor

Como placa de soporte de obleas, se usa en equipos de alta temperatura (> 1200 ° C), como hornos de difusión y hornos de recocido para evitar la contaminación del metal.

La estructura porosa tiene funciones de aislamiento y soporte, reduciendo la pérdida de calor.

● Distribución uniforme de gas y control de reacción

En el equipo de deposición de vapor químico (CVD), como una placa de distribución de gas, los poros se usan para transportar uniformemente los gases reactivos (como Sih₄, NH₃) para mejorar la uniformidad de la deposición de película delgada.

En el grabado seco, la estructura porosa optimiza la distribución del plasma y mejora la precisión del grabado.

● Componentes del núcleo de Chuck (ESC) electrostático (ESC)

El SIC poroso se usa como sustrato electrostático de Chuck, que logra la adsorción de vacío a través de microporos, fija con precisión la oblea y es resistente al bombardeo de plasma y tiene una larga vida útil.

● Componentes resistentes a la corrosión

Utilizado para el revestimiento de cavidad de equipos de grabado y limpieza húmedo, resiste la corrosión por ácidos fuertes (como H₂so₄, HNO₃) y álcalis fuerte (como KOH).

● Control de uniformidad de campo térmico

En hornos de crecimiento de silicio de cristal único (como el método Czochralski), como un escudo de calor o soporte, su alta estabilidad térmica se usa para mantener campos térmicos uniformes y reducir los defectos de la red.

● Filtración y purificación

La estructura porosa puede interceptar contaminantes de partículas y se usa en sistemas de suministro de gas/líquido ultra pure para garantizar la limpieza del proceso.

Ventajas sobre los materiales tradicionales