Cuarzo fundido eléctrico

El cuarzo fundido eléctricamente está hecho de tetracloruro de silicio de alta pureza (SiCl₄) como materia prima y se refina mediante un proceso de fusión con llama de hidrógeno y oxígeno. El cuarzo fundido eléctrico no tiene burbujas en el interior y tiene un rendimiento y estabilidad excelentes, lo que garantiza un uso estable a largo plazo en entornos ópticos y de semiconductores hostiles. En la actualidad, el cuarzo electrofundido se ha utilizado ampliamente en los campos óptico y de semiconductores.

Campo semiconductor

● El cuarzo fusionado eléctrico juega un papel importante en la fabricación y procesamiento de obleas de semiconductores y generalmente se usa como componentes como portavasos, portadores y tubos de difusión. Su alta estabilidad de temperatura y resistencia a la corrosión garantizan la pureza y la estabilidad del material a alta temperatura y entornos químicos duros, y su bajo coeficiente de expansión asegura la estabilidad dimensional durante el procesamiento de alta temperatura.

● Máscara de fotolitografía. En la fabricación de semiconductores, la cerámica crisol de cuarzo también se usa como material de sustrato para la máscara de fotolitografía. Su alta pureza y su excelente transparencia óptica permiten una transferencia de patrones preciso durante la litografía ultravioleta y ultravioleta profunda (DUV).

●  Tubos de difusión de gases y cámaras de reacción. Los tubos de difusión y las cámaras de reacción fabricados con cuarzo fundido eléctricamente son materiales ideales para procesos como (CVD), oxidación y difusión. Estos componentes tienen una excelente resistencia a la corrosión a altas temperaturas y no reaccionan con gases reactivos, evitando así la introducción de impurezas y mejorando la calidad del producto.

Campo óptico

●  Componentes ópticos de alta precisión. El cuarzo fundido eléctricamente se utiliza a menudo para fabricar componentes ópticos como lentes, prismas y reflectores debido a su alta transmitancia y uniformidad, especialmente en aplicaciones que requieren alta transmitancia y baja dispersión.

● Aplicaciones ópticas UV y UV profundas. El cuarzo fusionado eléctrico tiene una excelente transmitancia óptica en las bandas UV y UV profundas, lo que lo hace particularmente adecuado para los sistemas ópticos UV. Su alta pureza y bajo contenido de impureza reducen la absorción de luz en la banda UV, por lo que es un material importante en los sistemas ópticos UV profundos.

● Componentes ópticos láser. En los sistemas láser de alta energía, la cerámica de crisol de cuarzo se utiliza a menudo para fabricar componentes como ventanas láser, divisores de haz y filtros debido a su resistencia al impacto del láser de alta energía y su baja birrefringencia. Su estructura de alta pureza evita la pérdida de luz y la deformación térmica, lo que la convierte en una opción ideal para sistemas láser de alta potencia.

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