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El principio de dechuck del chuck electrostático es una parte clave de su flujo de trabajo que implica la eliminación de la fuerza electrostática y los mecanismos de liberación de la oblea.

El carbono vidrioso es un carbono no grafitizado que combina las propiedades del vidrio y la cerámica. Tiene muchas propiedades, como alta resistencia a la temperatura, resistencia a la corrosión, buena conductividad eléctrica, etc. Este blog analiza la historia de la investigación y la tendencia de desarrollo futuro de carbono vidrioso, que vale la pena leer.

En la fabricación de semiconductores, se necesitan varios tipos de productos de componentes de cerámica semiconductores. Estos productos se utilizan en diferentes escenarios de producción debido a sus diferentes características, para jugar sus funciones correspondientes. Son productos indispensables en la industria de procesamiento de semiconductores.

Tantalum Carbide (TAC) es un material cerámico de alto rendimiento conocido por su dureza extremadamente alta, alto punto de fusión y excelente estabilidad química. Se usa ampliamente en las industrias semiconductores, aeroespaciales y otras que requieren calor, desgaste y resistencia a la corrosión. Este artículo analizará en detalle la estructura, las propiedades físicas y los usos específicos del producto terminado en la fabricación de semiconductores.

La placa de cerámica SIC porosa es uno de los materiales centrales en el campo de la fabricación de semiconductores. Con su estructura única y excelentes propiedades físicas, el disco cerámico SIC poroso se ha convertido en un componente clave irremplazable en ambientes a alta temperatura y corrosivo. En este artículo, analizaremos profundamente sus propiedades físicas, escenarios de aplicación y ventajas de selección.

El barco de cuarzo es un componente clave de carga utilizado en el proceso de fabricación de semiconductores. Se utiliza principalmente para el procesamiento a alta temperatura de obleas, como difusión, oxidación y recocido. Su excelente estabilidad térmica, bajas características de contaminación y resistencia a la corrosión lo convierten en un material indispensable en la industria de semiconductores. Este artículo explicará el material, las propiedades físicas, la clasificación, los escenarios de aplicación del barco de cuarzo y sus diferencias con el barco de grafito PECVD.