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Descubra cómo Vetek eliminó el agrietamiento radial en susceptores de grafito recubiertos de SiC MOCVD de gran tamaño. El rediseño del amortiguador de tensión estructural y la combinación de CTE aumentaron la vida útil en más de un 300%.

Una década de evolución del SiC: desde los primeros desafíos de comercialización de 4 pulgadas hasta la transición actual de las obleas de 8 pulgadas. Descubra cómo los recubrimientos CVD SiC, los materiales Solid SiC y TaC permiten una fabricación confiable de semiconductores.

Descubra cómo los susceptores de grafito recubiertos de SiC CVD mejoran el crecimiento epitaxial al mejorar la uniformidad térmica, reducir la contaminación y extender la vida útil de los componentes en la fabricación de semiconductores de silicio, LED y SiC, GaN.