Noticias

Análisis en profundidad de las causas del amarillamiento y descamación de los bordes del recubrimiento de carburo de silicio en susceptores de grafito epitaxia MOCVD. VeTek eliminó el microestrés al controlar con precisión la tasa de deposición inicial de CVD y el campo de flujo, aumentando el rendimiento del recubrimiento del 50% al 90% y extendiendo la vida útil de las piezas de grafito de alta pureza.

Al abordar la variación del espesor de bolsillo a bolsillo del 1,4 % en susceptores de grafito epitaxia de silicio de múltiples bolsillos, VeTek Semi mejoró la planitud del susceptor a <0,08 mm y redujo la variación al 0,69 % mediante simulación de campo de flujo CVD y recubrimiento de SiC de ultraprecisión, lo que aumentó el rendimiento de la oblea.

Descubra cómo Vetek eliminó el agrietamiento radial en susceptores de grafito recubiertos de SiC MOCVD de gran tamaño. El rediseño del amortiguador de tensión estructural y la combinación de CTE aumentaron la vida útil en más de un 300%.

Una década de evolución del SiC: desde los primeros desafíos de comercialización de 4 pulgadas hasta la transición actual de las obleas de 8 pulgadas. Descubra cómo los recubrimientos CVD SiC, los materiales Solid SiC y TaC permiten una fabricación confiable de semiconductores.

Descubra cómo los susceptores de grafito recubiertos de SiC CVD mejoran el crecimiento epitaxial al mejorar la uniformidad térmica, reducir la contaminación y extender la vida útil de los componentes en la fabricación de semiconductores de silicio, LED y SiC, GaN.

Descubra cómo los calentadores de grafito recubiertos de TaC mejoran la uniformidad de la temperatura, reducen el consumo de energía y extienden la vida útil en epitaxia GaN MOCVD en comparación con los calentadores convencionales recubiertos de pBN.

Descubra cómo el recubrimiento CVD TaC mejora el crecimiento de cristales de SiC en hornos PVT al reducir la contaminación por carbono, proteger los componentes de grafito, extender la vida útil y mejorar la calidad del cristal para la fabricación avanzada de semiconductores.

Descubra por qué el recubrimiento CVD TaC se está convirtiendo en la solución protectora preferida para componentes semiconductores de grafito. Conozca sus ventajas, sus aplicaciones en el crecimiento de cristales de SiC, GaN MOCVD y portadores de obleas, y cómo mejora la durabilidad, la pureza y la estabilidad del proceso.

Descubra cómo los anillos de grafito recubiertos de carbono pirolítico (PyC) de VETEK mejoran la estabilidad térmica, reducen la contaminación y extienden la vida útil de los componentes en procesos de crecimiento de cristales de SiC, epitaxia, CVD y semiconductores de alta temperatura.

Descubra cómo el recubrimiento CVD TaC mejora el crecimiento de cristales de SiC y la fabricación de semiconductores con una estabilidad térmica ultra alta, resistencia a la corrosión, supresión de impurezas y un rendimiento superior en aplicaciones MOCVD y epitaxia.

Eche un vistazo a los componentes clave de Aixtron G10 para sistemas de epitaxia de SiC de alta temperatura. Cubrimos piezas de grafito recubiertas de SiC CVD, componentes de recubrimiento de TaC y estructuras de campos térmicos, y cómo ayudan con la estabilidad del proceso, el control de la pureza y el rendimiento de las obleas en la fabricación avanzada de semiconductores.

Descubra qué es un componente Halfmoon en una cámara de reacción LPE y cómo respalda la estabilidad térmica, la gestión del flujo de gas y la estructura del reactor en sistemas de epitaxia de SiC. Explore materiales de grafito, recubrimiento CVD SiC, recubrimiento TaC y tecnologías modernas de reactores semiconductores.

¿Tiene problemas con las tasas de rendimiento de MicroLED? Descubra por qué los líderes de la industria están cambiando a sustratos de SiC y componentes MOCVD recubiertos de TaC para resolver el estrés térmico y la contaminación por partículas. Conozca las ventajas técnicas de CVD SiC para pantallas GaN de próxima generación

Explore cómo se utiliza el recubrimiento CVD SiC en procesos de semiconductores, incluida su estructura, características de rendimiento y aplicaciones típicas, junto con su relevancia en aplicaciones de alta temperatura.

¿Vale la pena invertir en CVD Solid SiC? Compare el retorno de la inversión del SiC monolítico versus los recubrimientos de grafito tradicionales. Descubra cómo la resistencia superior al plasma y el MTBC extendido se traducen en menores tasas de desperdicio de obleas y mayor tiempo de actividad del equipo para líneas HVM de 12 pulgadas.

Los materiales de alta pureza son esenciales para la fabricación de semiconductores. Estos procesos implican calor extremo y productos químicos corrosivos. CVD-SiC (carburo de silicio por deposición química de vapor) proporciona la estabilidad y resistencia necesarias. Ahora es una opción principal para piezas de equipos avanzados debido a su alta pureza y densidad.