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El barco de cuarzo es un componente clave de carga utilizado en el proceso de fabricación de semiconductores. Se utiliza principalmente para el procesamiento a alta temperatura de obleas, como difusión, oxidación y recocido. Su excelente estabilidad térmica, bajas características de contaminación y resistencia a la corrosión lo convierten en un material indispensable en la industria de semiconductores. Este artículo explicará el material, las propiedades físicas, la clasificación, los escenarios de aplicación del barco de cuarzo y sus diferencias con el barco de grafito PECVD.

El material central de la embarcación de grafito PECVD es el material de grafito isotrópico de alta pureza (la pureza suele ser ≥99.999%), que tiene una excelente conductividad eléctrica, conductividad térmica y densidad. En comparación con los barcos de grafito ordinarios, los barcos de grafito PECVD tienen muchas ventajas de propiedades físicas y químicas y se utilizan principalmente en las industrias semiconductores y fotovoltaicas, especialmente en los procesos PECVD y CVD.

Las bandejas de grafito MOCVD juegan un papel importante en el proceso epitaxial. Este artículo realiza un análisis detallado sobre la selección de bandejas de grafito MOCVD desde las perspectivas de las propiedades del material y los escenarios de aplicación.