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Los nanomateriales de carburo de silicio (SIC) son materiales con al menos una dimensión a escala nanómetro (1-100nm). Estos materiales pueden ser cero, un, dos o tridimensionales y tienen aplicaciones diversas.

CVD SIC es un material de carburo de silicio de alta pureza fabricado por deposición de vapor químico. Se utiliza principalmente para varios componentes y recubrimientos en equipos de procesamiento de semiconductores. El siguiente contenido es una introducción a la clasificación del producto y las funciones centrales de CVD SIC

Este artículo presenta principalmente los tipos de productos, las características del producto y las funciones principales del recubrimiento de TAC en el procesamiento de semiconductores, y realiza un análisis e interpretación exhaustivos de los productos de recubrimiento de TAC en su conjunto.

Este artículo presenta principalmente los tipos de productos, las características del producto y las funciones principales del susceptor de MOCVD en el procesamiento de semiconductores, y realiza un análisis e interpretación exhaustivos de los productos de susceptores MOCVD en su conjunto.

Un susceptor de grafito recubierto de SiC para ASM no es solo una pieza de repuesto dentro de un sistema de epitaxia. Es un portador crítico para el proceso que influye en la uniformidad térmica, la limpieza de las obleas, la durabilidad del recubrimiento, la estabilidad de la cámara y el costo de producción a largo plazo.

Una cubierta con revestimiento CVD TaC no es solo una tapa protectora o un componente recubierto de grafito. En procesos de semiconductores de alta temperatura, puede influir en la limpieza de la cámara, la estabilidad térmica, la vida útil de las piezas y la consistencia del proceso.