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Este artículo analiza las razones por las cuales el recubrimiento SIC un material central clave para el crecimiento epitaxial SIC y se centra en las ventajas específicas del recubrimiento SIC en la industria de semiconductores.
Los nanomateriales de carburo de silicio (SIC) son materiales con al menos una dimensión a escala nanómetro (1-100nm). Estos materiales pueden ser cero, un, dos o tridimensionales y tienen aplicaciones diversas.
CVD SIC es un material de carburo de silicio de alta pureza fabricado por deposición de vapor químico. Se utiliza principalmente para varios componentes y recubrimientos en equipos de procesamiento de semiconductores. El siguiente contenido es una introducción a la clasificación del producto y las funciones centrales de CVD SIC
Este artículo presenta principalmente los tipos de productos, las características del producto y las funciones principales del recubrimiento de TAC en el procesamiento de semiconductores, y realiza un análisis e interpretación exhaustivos de los productos de recubrimiento de TAC en su conjunto.
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