Noticias de la industria

En el mundo de alto riesgo de la fabricación de semiconductores, la precisión y la estabilidad lo son todo, y ahí es donde interviene el fuck electrostático (ESC). Mucho más que una herramienta de retención, el ESC utiliza fuerzas electrostáticas para sujetar obleas de forma segura durante procesos críticos como el grabado, la deposición y la implantación de iones. Pero, ¿cómo funciona realmente? ¿Por qué es superior a la sujeción mecánica tradicional? ¿Y qué papel juega para lograr la precisión a nanoescala y la eficiencia de rendimiento? Bienvenido a leer.

El principio de dechuck del chuck electrostático es una parte clave de su flujo de trabajo que implica la eliminación de la fuerza electrostática y los mecanismos de liberación de la oblea.

El carbono vidrioso es un carbono no grafitizado que combina las propiedades del vidrio y la cerámica. Tiene muchas propiedades, como alta resistencia a la temperatura, resistencia a la corrosión, buena conductividad eléctrica, etc. Este blog analiza la historia de la investigación y la tendencia de desarrollo futuro de carbono vidrioso, que vale la pena leer.